水汽扩散法(或称为浸透法)此种萃取方式比液态二氧化碳萃取法来得多一些。其实水汽扩散法与蒸馏法非常类似,差别只是在于水汽扩散法的蒸气是位于植物上方,而植物及水汽浸透之后的液体位于下方。相较于蒸馏法,水汽扩散法的萃取程序比较快速方便,特别是一些坚硬的木质或树皮,其精油成分比较不容易释放出来,用水汽扩散法来处理就会快得多,萃取出来的精油据说具有优异的香气,并且会比蒸馏法萃取的精油颜色更加深浓。目前以水汽扩散法所萃取的精油还不是很普及。
